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Europäisches Patentamt

INTEGRATED WAVEFRONT SENSOR AND PROFILOMETER | INTEGRIERTER WELLENFRONTSENSOR UND PROFILOMETER | CAPTEUR DE FRONTS D'ONDES ET PROFILOMÈTRE INTÉGRÉS

Patentnummer:EP2926082B1
IPC Hauptklasse:G01B001124
Anmelder:
Erfinder:FLEIG, Jon (0)
25 Aberthaw Road, Rochester, NY 14610, US
MURPHY, Paul (0)
122 Lattimore Road, Rochester, NY 14620, US
Anmeldung:22.11.13
Offenlegung:30.11.12
Patenterteilung:21.02.18

Abstract / Hauptanspruch
An instrument for measuring aspheric optical surfaces includes both an optical wavefront sensor and a single-point optical profilometer. The optical wavefront sensor measures surface height variations throughout one or more areas of an aspheric test surface. The single-point profilometer measures surface height variations along one or more traces on the aspheric test surface. At least one of the traces intersects at least one of the areas, and respective spatial frames of reference for the traces and areas are relatively adapted to each other by minimizing differences between points of nominal coincidence between the areas and traces.

L'invention concerne un instrument de mesure de surfaces optiques asphériques comprenant à la fois un capteur de fronts d'ondes optiques et un profilomètre optique monopoint. Le capteur de fronts d'ondes optiques mesure des variations de hauteur de surface sur la totalité d'une ou plusieurs zones d'une surface de test asphérique. Le profilomètre optique monopoint mesure des variations de hauteur de surface le long d'un ou plusieurs tracés sur la surface de test asphérique. Au moins un des tracés croise au moins une des zones, et des repères spatiaux respectifs pour les tracés et les zones sont adaptés les uns par rapport aux autres en minimisant les différences entre des points de coïncidence nominale entre les zones et les tracés.

EP2926082B1


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