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Europäisches Patentamt

Verfahren zur Überprüfung eines Trennschrittes bei der Zerteilung eines flachen Werkstückes in Teilstücke

Patentnummer:DE102015225929B4
IPC Hauptklasse:G01B002122
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:18.12.15
Offenlegung:18.12.15
Patenterteilung:04.01.18

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zur Überprüfung eines Trennschrittes, mit dem ein flaches Werkstück (1) entlang einer oder mehrerer Trennlinien (14) in Teilstücke (2, 3) zerteilt wird, dadurch gekennzeichnet, dass nach dem Trennschritt durch einen Vergleich einer Oberflächenneigung jeweils benachbarter Teilbereiche (2, 3, 13) des Werkstücks (1) bestimmt wird, ob die jeweils benachbarten Teilbereiche (2, 3, 13) gegeneinander verkippt und damit voneinander getrennt sind.

DE102015225929B4


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