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Europäisches Patentamt

Auf einer Kollimation mit Mikro-Brennweite basierendes Mikrohohlraum-Messverfahren undentsprechende Erfassungsvorrichtungen

Patentnummer:DE112009004575B4
IPC Hauptklasse:G01B001102
Anmelder:
Erfinder:Tan, Jiubin (0)
Heilongjiang, Harbin, CN; Cui, Jiwen, Heilongjian, Harbin, CN
Anmeldung:12.11.09
Offenlegung:24.03.09
Patenterteilung:25.01.18

Abstract / Hauptanspruch
Mikrohohlraum-Messverfahren basierend auf einer Kollimation mit Mikro-Brennweite, umfassend die folgenden Schritte:
– Schritt 1. Verwendung einer Fasersonde, die eine Sondenkugel, einen Faserschaft und eine Kollimationslinse umfasst, wobei eine dünne Glasfaser, die an einem Ende kragarmartig befestigt ist, und an deren anderem Ende die Sondenkugel angebracht ist, als die Fasersonde dient, wobei die Kollimationslinse zylindrisch oder sphärisch ausgebildet ist und ihre Brennweite im Mikrometerbereich liegt, wobei die Kollimationslinse in der Mitte des Faserschaftes befestigt ist;
– Schritt 2. Verwendung einer Punktlichtquelle zum Ausbilden eines kollimierenden und abbildenden optischen Systems mit der in Schritt 1 erwähnten Kollimationslinse; wobei die Punktlichtquelle in der Nähe des Brennpunktes der Kollimationslinse angeordnet wird, die den Strahl der Punktlichtquelle kollimiert, und das Bild von einem optoelektronischen Detektor erfasst wird; und das kollimierende und abbildende optische System zum Umwandeln der Bewegungen des Faserschaftes in eine Bildveränderung der Punktlichtquelle verwendet wird;
– Schritt 3. Verwendung eines Mikrohohlraumdetektors, der hauptsächlich aus der in Schritt 1 erwähnten Fasersonde, der Punktlichtquelle und dem in Schritt 2 erwähnten optoelektronischen Detektor besteht; wobei die Positionen der Punktlichtquelle, der Fasersonde und des optoelektronischen Detektors so relativ zueinander angeordnet sind, dass das in Schritt 2 erwähnte kollimierende und abbildende optische System ausgebildet wird;
– Schritt 4. Kombinieren des in Schritt 3 erwähnten Mikrohohlraumdetektors mit einer Koordinatenmessmaschine, wobei das Abbildungssignal des optoelektronischen Detektors und die Koordinaten des ...

A micro-cavity measuring method and equipment based on micro focal-length collimation are provided. The equipment can be used to measure irregular micro -cavities and "sub-macro" micro-cavities. Wherein a cylindrical or spherical lens with micro focal-length is combined with a fiber probe(ll,12) to form a collimating and imaging optical system of a point light source(8), and the collimating and imaging optical system transforms the two or three dimensional movement of the fiber probe(ll,12) into a change in image ultra-highly sensitively. A lot of advantages are obtained, i.e., micro measuring force, high aspect ratio, easy miniaturization, high resolution, simple construction and high speed.

L'invention porte sur un procédé et un équipement de mesure de microcavité sur la base d'une collimation de longueur focale microscopique. L'équipement peut être utilisé pour mesurer des microcavités irrégulières et des macrocavités « sous-macroscopique ». Une lentille cylindrique ou sphérique avec une longueur focale microscopique est combinée à une sonde à fibre (11, 12) pour former un système optique de collimation et d'imagerie d'une source ponctuelle de lumière (8), et le système optique de collimation et d'imagerie transforme le mouvement bidimensionnel ou tridimensionnel de la sonde à fibre (11, 12) en un changement d'image avec une sensibilité ultra-élevée. Un grand nombre d'avantages sont obtenus, à savoir une force microscopique de mesure, un rapport de forme élevé, une miniaturisation aisée, une résolution élevée, une construction simple et une vitesse élevée.

DE112009004575B4


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