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Europäisches Patentamt

SEMICONDUCTOR DEVICE AND SIGMA-DELTA LOOP MEMS ACQUISITION | HALBLEITERBAUELEMENT UND SIGMA-DELTA-SCHLEIFEN-MEMS-ERFASSUNG | DISPOSITIF SEMI-CONDUCTEUR ET ACQUISITION DE MEMS DE BOUCLE SIGMA-DELTA

Patentnummer:EP2974035B1
IPC Hauptklasse:G01D000524
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:11.03.14
Offenlegung:15.03.13
Patenterteilung:03.01.18

Abstract / Hauptanspruch
A semiconductor device measures a state of a MEMS as a first voltage variation at a sensing node. The state of the MEMS includes a capacitance. A first capacitor is coupled between the sensing node and an input of an integrator for transferring the first voltage variation to a second node as a first signal. A second voltage variation is routed through a second capacitor to the second node as a second signal. The integrator integrates the first signal and second signal to provide an integrated signal. An ADC has an input coupled to an output of the integrator and converts the integrated signal to a digital signal representative of the capacitance of the MEMS. A DAC has an input coupled to the output of the ADC. A second capacitor is coupled between an output of the DAC and the sensing node.

L'invention concerne un dispositif semi-conducteur qui mesure un état d'un MEMS sous forme d'une première variation de tension au niveau d'un nœud détecteur. L'état du MEMS comprend une capacité. Un premier condensateur est couplé entre le nœud détecteur et une entrée d'un intégrateur permettant de transférer la première variation de tension à un second nœud sous forme d'un premier signal. Une seconde variation de tension est dirigée à travers un second condensateur vers le second nœud sous forme d'un second signal. L'intégrateur intègre le premier signal et le second signal pour produire un signal intégré. Un CAN a une entrée couplée à une sortie de l'intégrateur et convertit le signal intégré en un signal numérique représentatif de la capacité du MEMS. Un CNA a une entrée couplée à la sortie du CAN. Un second condensateur est couplé entre une sortie du CAN et le nœud détecteur.

EP2974035B1


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