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Europäisches Patentamt

METROLOGY APPARATUS | MESSGERÄT | APPAREIL DE MÉTROLOGIE

Patentnummer:EP2564152B1
IPC Hauptklasse:G01B0005012
Anmelder:
Erfinder:MCMURTRY, David (0)
Roberts, Park Farm Stancombe; Dursley, Gloucestershire GL11 6AT, GB
Anmeldung:28.04.11
Offenlegung:30.04.10
Patenterteilung:20.12.17

Abstract / Hauptanspruch
This invention concerns a metrology apparatus comprising a body (110,112) and a first member (118, 116) rotatable relative to the body about a first axis of rotation A3, A4, said first axis being defined by first bearing (120, 128; 122, 129; 124, 130; 126, 132), and a first motor M3, M4 for actuating rotation of the first member relative to the body about the first axis of rotation. A surface sensing device (102) is attachable to the first member such that the surface sensing device can move with the first member, relative to the body. The first motor may comprise a first magnet (152, 158) and at least one metal coil (154) spaced apart along the first axis and mounted such that the first magnet and the at least one metal coil are moveable relative to one another.

La présente invention concerne un appareil de métrologie comprenant un corps (110,112) et un premier élément (118, 116) pouvant se mettre en rotation par rapport au corps autour d'un premier axe de rotation A3, A4, ledit premier axe étant défini par un premier roulement (120, 128 ; 122, 129 ; 124, 130 ; 126, 132), et un premier moteur M3, M4 pour actionner la rotation du premier élément par rapport au corps autour du premier axe de rotation. Un dispositif de détection de surface (102) peut être fixé au premier élément de telle sorte que le dispositif de détection de surface peut se déplacer avec le premier élément, par rapport au corps. Le premier moteur peut comprendre un premier aimant (152, 158) et au moins une bobine métallique (154) disposés à distance le long du premier axe et fixés de telle sorte que le premier aimant et la ou les bobines métalliques peuvent se déplacer les uns par rapport aux autres.

EP2564152B1


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