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Europäisches Patentamt

Kalibriernormal

Patentnummer:DE102005054589B4
IPC Hauptklasse:G01B002108
Anmelder:
Erfinder:Antrag auf Nichtnennung (0)
Anmeldung:14.11.05
Offenlegung:14.11.05
Patenterteilung:02.11.17

Abstract / Hauptanspruch
Kalibriernormal, insbesondere zur Kalibrierung von Vorrichtungen zur zerstörungsfreien Messung der Dicke dünner Schichten, mit einer Trägerplatte (16) aus einem Grundwerkstoff und einem auf der Trägerplatte (16) aufgebrachten Normal (17), welches die Dicke der Schicht aufweist, auf welche die Vorrichtung zu kalibrieren ist, wobei eine am Grundkörper (12) des Kalibriernormals (11) angeordnete Haltevorrichtung (22) wenigstens das Normal (17) zum Grundkörper (12) derart aufnimmt, dass beim Aufsetzen einer Messsonde der Vorrichtung zur zerstörungsfreien Messung dünner Schichten auf das Normal (17) seine Lage in zumindest einem Freiheitsgrad veränderbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Haltevorrichtung (22) zumindest ein federnd nachgiebiges Halteelement (24) aufweist, welches in seiner Mittelachse eine Auflagefläche (28) zur zentralen Aufnahme der Trägerplatte (16) mit dem darauf positionierten Normal (17) aufweist.

DE102005054589B4


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