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Europäisches Patentamt

Verfahren zum Kalibrieren eines Probentisches eines Metrologiesystems sowie Metrologiesystem mit einem Probentisch

Patentnummer:DE102009016858B4
IPC Hauptklasse:G01B001103
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
73447, Oberkochen, DE
Erfinder:Arnz, Michael (0)
Dr., 73447, Oberkochen, DE
Anmeldung:08.04.09
Offenlegung:18.03.09
Patenterteilung:02.11.17

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren zum Kalibrieren eines Probentisches eines Metrologiesystems, bei dem eine mehrere Marken aufweisende Probe nacheinander in unterschiedlichen Kalibrierstellungen positioniert wird,
in jeder Kalibrierstellung der Probe jeweils jede Marke mittels des Probentisches im Aufnahmebereich eines optischen Systems positioniert und dann die Markenposition mittels des optischen Systems gemessen wird,
ein Modell aufgestellt wird, das Positionierfehler des Probentisches mittels eines Funktionensystems mit zu bestimmenden Kalibrierparametern beschreibt,
wobei in dem Modell zusätzlich zumindest ein bei der Messung der Markenpositionen auftretender systematischer Messfehler berücksichtigt wird und
basierend auf dem Modell unter Berücksichtigung der gemessenen Markenpositionen für die Kalibrierung die Werte der Kalibrierparameter bestimmt werden,
dadurch gekennzeichnet, dass der zumindest eine systematische Messfehler ein Abbildungsfehler des optischen Systems ist.

DE102009016858B4


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