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Europäisches Patentamt

APPARATUS FOR TACTILE FORM DETERMINATION | VORRICHTUNG ZUR TAKTILEN FORMBESTIMMUNG | DISPOSITIF DESTINÉ À DÉTERMINER UNE FORME DE MANIÈRE TACTILE

Patentnummer:EP2734808B1
IPC Hauptklasse:G01B001130
Anmelder:Robert Bosch GmbH (0)
Postfach 30 02 20, 70442 Stuttgart, DE
Erfinder:DRABAREK, Pawel (0)
Parkstr. 16/5, 75233 Tiefenbronn, DE
Anmeldung:10.07.12
Offenlegung:20.07.11
Patenterteilung:22.11.17

Abstract / Hauptanspruch
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur taktilen Bestimmung einer Oberflächenform eines Messobjekts mit einem Mikrotastarm mit einer Tastspitze. Erfindungsgemäß ist der Mikrotastarm an einer Lichtleitfaser mit einem Faser-Ende befestigt, die in einem Tastergehäuse gehaltert ist, ist in dem Tastergehäuse ein Referenzspiegel vorgesehen, und ist zur Bestimmung der Position des Faser-Endes gegenüber dem Referenzspiegel eine optische, insbesondere interferometrische Messeinrichtung vorgesehen. Die erfindungsgemäße Vorrichtung ermöglicht eine kostengünstige taktile Bestimmung der Form eines Meßobjekts wie dessen Rauhigkeit. Durch die Halterung des Mikrotastarms an der Lichtleitfaser wird kein mechanisches Gelenk für den Mikrotastarm benötigt. Die berührungslose interferometrische Bestimmung des Abstandes zwischen dem Faser-Ende der Lichtleitfaser und dem in dem Tastergehäuse angebrachten Referenzspiegel ermöglicht eine besonders präzise Bestimmung der Oberflächenform des Messobjekts.

The invention relates to an apparatus for determining in a tactile manner a surface form of a measurement object with a microsensing arm having a sensing tip. According to the invention, the microsensing arm is secured to an optical fibre with a fibre end, which optical fibre is held in a sensor housing, a reference mirror is provided in the sensor housing, and an optical, in particular interferometric measuring device is provided for determining the position of the fibre end relative to the reference mirror. The apparatus according to the invention permits a cost-effective tactile determination of the form of a measurement object, such as the roughness thereof. On account of the microsensing arm being held at the optical fibre, no mechanical articulation for the microsensing arm is necessary. The contactless interferometric determination of the distance between the fibre end of the optical fibre and the reference mirror, which is mounted in the sensor housing, permits a particularly precise determination of the surface form of the measurement object.

L'invention concerne un dispositif destiné à déterminer de manière tactile une forme superficielle d'un objet à mesurer, au moyen d'un microbras palpeur pourvu d'une pointe de palpation. Selon l'invention, le microbras palpeur est fixé sur une fibre optique qui est pourvue d'une extrémité de fibre et qui est supportée par un boîtier de palpeur, un miroir de référence est disposé dans ledit boîtier de palpeur, et un dispositif de mesure optique, notamment interférométrique, est disposé à l'opposé du miroir de référence pour déterminer la position de ladite extrémité de fibre. Le dispositif selon l'invention permet de déterminer de façon tactile et économique la forme d'un objet à mesure ainsi que de sa rugosité. Le microbras palpeur étant maintenu sur la fibre optique, le microbras de palpage ne nécessite aucune articulation mécanique. La distance entre l'extrémité de fibre de la fibre optique et le miroir de référence disposé dans le boîtier de palpeur étant déterminée sans contact de manière interférométrique, la forme superficielle de l'objet à mesurer peut être déterminée avec une précision particulièrement élevée.

EP2734808B1


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