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Europäisches Patentamt

Verschiebungsmessvorrichtung

Patentnummer:DE10037981B4
IPC Hauptklasse:G01B001100
Anmelder:Mitutoyo Corporation (0)
20-1, Sakado 1-chome, ; Takatsu-ku, ; Kawasaki, Kanagawa 213-0012, JP
Erfinder:Aoki, Toshihiko (0)
Kanagawa, Kawasaki, JP
Anmeldung:03.08.00
Offenlegung:06.08.99
Patenterteilung:19.10.17

Abstract / Hauptanspruch
Verschiebungsmessvorrichtung mit:
einem Skalenelement (1) mit Skalengittern (11), die darauf mit einem gewissen Teilungsabstand (P) entlang einer Messachse (X) gebildet sind; und
einem Sensorkopf (2) zum Auslesen der Skalengitter (11), der relativ zu dem Skalenelement (1) entlang der Messachse (X) bewegbar ist, wobei der Sensorkopf (2) umfasst:
eine Lichtquelle (3) zum Emittieren von Licht zu dem Skalenelement (1); und
eine Fotodetektoranordnung (5) mit Fotodetektoren (51) zum Erfassen von Licht von dem Skalenelement (1), um mehrere Verschiebungssignale mit unterschiedlichen Phasen auszugeben, wobei die Fotodetektoranordnung (5) umfasst:
ein Substrat (50);
eine erste Fotodetektorgruppe (51a), die in einer ersten Halbleiterdünnfilmschicht, die auf dem Substrat (50) angeordnet ist, gebildet ist;
einen Isolator (24) zum Bedecken der ersten Fotodetektorgruppe (51a); und
eine zweite Fotodetektorgruppe (51b), die in einer zweiten Halbleiterdünnfilmschicht, die auf dem Isolator (24) angeordnet ist, gebildet ist, zum Empfangen von Licht, das Zwischenbereiche zwischen den Fotodetektoren (51) in der ersten Fotodetektorgruppe (51a) durchlaufen hat.

DE10037981B4


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