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Europäisches Patentamt

Method and device for optical inspection of a surface on an object | Dispositif et procédé d'inspection optique d'une surface sur un objet | Vorrichtung und Verfahren zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand

Patentnummer:EP2287593B1
IPC Hauptklasse:G01B001125
Anmelder:Carl Zeiss AG (0)
73117, Wangen, DE
Erfinder:Beck, Rolf (0)
73728, Esslingen, DE
Knupfer, Klaus-Georg (0)
Alemannenstrasse 55, 73457 Essingen, DE
Anmeldung:09.08.10
Offenlegung:20.08.09
Patenterteilung:04.10.17

Abstract / Hauptanspruch
Eine Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche (28) an einem Gegenstand (26) besitzt einen Mustergenerator (12), um variable Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) zu erzeugen. Die Oberfläche (28) beinhaltet eine Vielzahl von Oberflächenpunkten (54, 58, 62), die entlang einer Richtung verteilt sind. Eine Kamera (32) ist auf einen Teilabschnitt der Oberfläche (28) gerichtet. Eine Werkstückaufnahme (20) ist dazu ausgebildet, den Gegenstand (26) relativ zu der Kamera (32) in der Richtung zu bewegen, um die Oberflächenpunkte (54, 58, 62) zeitlich nacheinander mit der Kamera (32) zu erfassen. Eine Steuer- und Auswerteeinheit (34) ist dazu ausgebildet, den Mustergenerator (12), die Werkstückaufnahme (20) und die Kamera (32) so anzusteuern, dass jeder Oberflächenpunkt aus der Vielzahl der verteilten Oberflächenpunkte (54, 58, 62) mit einer Vielzahl verschiedener Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) aufgenommen wird, wobei der Mustergenerator (12) die verschiedenen Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) in einer zusammenhängenden zeitlichen Abfolge bereitstellt, und wobei die Kamera (32) während der zusammenhängenden zeitlichen Abfolge stets auf den gleichen Oberflächenpunkt (54, 58, 62) gerichtet ist, wobei die Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) jeweils einen Intensitätsverlauf (22) mit einer definierten und jeweils gleichen Periode (24) aufweisen, wobei mindestens drei Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) der Abfolge den gleichen Intensitätsverlauf (22) besitzen, und wobei die drei Hell-Dunkel-Muster (16a, 16b) sich dadurch unterscheiden, dass der Intensitätsverlauf (22) mit jeweils unterschiedlichen Phasenlagen angeordnet ist.

EP2287593B1


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