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Europäisches Patentamt

SCALE, DISPLACEMENT DETECTION APPARATUS, LENS APPARATUS, IMAGE PICKUP SYSTEM, AND ASSEMBLING APPARATUS | ÉCHELLE, APPAREIL DE DÉTECTION DE DÉPLACEMENT, APPAREIL DE LENTILLE, SYSTÈME DE CAPTURE D'IMAGE ET APPAREIL D'ASSEMBLAGE | SKALA, VERSCHIEBUNGSERKENNUNGSVORRICHTUNG, LINSENVORRICHTUNG, BILDAUFNAHMESYSTEM, UND MONTAGEVORRICHTUNG

Patentnummer:EP2754999B1
IPC Hauptklasse:G01D0005244
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:20.12.13
Offenlegung:28.12.12
Patenterteilung:04.10.17

Abstract / Hauptanspruch
A scale (2) is used in a displacement detection apparatus (100) which detects a position of an object, the scale (2) includes a pattern (101) periodically formed in a measurement direction (an X direction), and the pattern (101) is configured so as to change a physical property in a direction (a Y direction) perpendicular to the measurement direction without changing phase information in the measurement direction when a detector (7) reading the pattern moves relative to the pattern in the direction perpendicular to the measurement direction.

EP2754999B1


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