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Europäisches Patentamt

CAPACITIVE MEMS SENSOR DEVICE | DISPOSITIF CAPTEUR MEMS CAPACITIF | KAPAZITIVE MEMS-SENSORANORDNUNG

Patentnummer:EP2021739B1
IPC Hauptklasse:G01D0005241
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:14.05.07
Offenlegung:17.05.06
Patenterteilung:11.10.17

Abstract / Hauptanspruch
The present invention relates to a capacitive MEMS sensor device for sensing a mechanical quantity. To provide such a capacitive MEMS sensor device which enables fast recovery from (near) sticking after a mechanical overload situation it is proposed that the sensor device comprises: - a first bias voltage unit (V1) for supplying a first bias voltage (V bias 1) to a first plate of said MEMS sensing element, - a second bias voltage unit (V2) for supplying a second bias voltage (Vbias2) to the second plate of said MEMS sensing element, - a signal processing (20) unit for processing said electrical quantity into an output signal (VOUT), - a comparator unit (21) for comparing said output (VOUT) signal to a reference signal (Vref) for detection of an overload condition of said MEMS sensing element (10) and for outputting a comparator signal, - a control unit (22) for controlling the discharge of said MEMS sensing element (10) in case of an overload condition signalled by said comparator signal by connecting, in case of an overload condition, said first plate to a first discharge terminal (D) during a first time interval (T1) and said second plate to a second discharge terminal (D) during a second time interval (T2).

La présente invention porte sur un dispositif capteur MEMS capacitif pour détecter une grandeur mécanique. Un tel dispositif capteur MEMS capacitif, qui permet un rétablissement rapide en cas de (presque) adhérence après une situation de surcharge mécanique, comprend : - une source de première tension de polarisation (V1) pour fournir une première tension de polarisation (V bias 1) à une première plaque dudit élément capteur MEMS, - une source de deuxième tension de polarisation (V2) pour fournir une deuxième tension de polarisation (Vbias 2) à la deuxième plaque dudit élément capteur MEMS, - un processeur de signaux (20) pour traiter ladite grandeur électrique et la convertir en un signal de sortie (VOUT), - un comparateur (21) pour comparer ledit signal de sortie (VOUT) avec un signal de référence (Vref) pour la détection d'une condition de surcharge dudit élément capteur MEMS (10) et pour envoyer un signal comparateur, - un dispositif de commande (22) pour contrôler la décharge dudit élément capteur MEMS (10) en cas de surcharge signalée par ledit signal comparateur en connectant, en cas de surcharge, ladite première plaque à une première borne de décharge (D) pendant un premier intervalle de temps (T1) et ladite deuxième plaque à une deuxième borne de décharge (D) pendant un deuxième intervalle de temps.

EP2021739B1


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