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Europäisches Patentamt

DISPLACEMENT DEVICES AND METHODS AND APPARATUS FOR DETECTING AND ESTIMATING MOTION ASSOCIATED WITH SAME | DISPOSITIFS ET PROCÉDÉS DE DÉPLACEMENT ET APPAREIL POUR DÉTECTER ET ESTIMER UN MOUVEMENT ASSOCIÉ | VERSCHIEBUNGSVORRICHTUNGEN UND VERFAHREN SOWIE VORRICHTUNG ZUR ERKENNUNG UND SCHÄTZUNG VON DAMIT ZUSAMMENHÄNGENDER BEWEGUNG

Patentnummer:EP3014219B1
IPC Hauptklasse:G01D000514
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:06.08.14
Offenlegung:06.08.13
Patenterteilung:11.10.17

Abstract / Hauptanspruch
Apparatus and method estimate a position of a movable stage. The apparatus comprises: a stator comprising 2D array of sensors arranged relative to one another to provide a plurality of stator-Y oriented sensor columns and a plurality of stator-X oriented sensor rows; a movable stage comprising a first Y-magnet array comprising a plurality of first magnetization segments generally linearly elongated in a stage-Y direction, each first magnetization segment having a stage-Y direction length, L yy, and a magnetization direction generally orthogonal to the stage-Y direction, the magnetization directions of the plurality of first magnetization segments exhibiting a first magnetic spatial period λχ over a stage-X direction width, Wyx, of the first magnet array; and a controller connected to receive information based on an output from each of the sensors and configured to use the information to determine a stator-X direction position of the movable stage.

Selon l'invention, un appareil et un procédé estiment une position d'une scène mobile. L'appareil selon l'invention comprend : un stator comprenant un ensemble bidimensionnel de capteurs disposés les uns par rapport aux autres de manière à obtenir une pluralité de colonnes de capteurs orientées suivant la position Y du stator et une pluralité de rangées de capteurs orientées suivant la position X du stator ; une scène mobile comprenant un premier ensemble d'aimants suivant la direction Y comprenant une pluralité de premiers segments de magnétisation généralement allongés linéairement dans une direction Y de la scène, chaque premier segment de magnétisation ayant une longueur dans la direction Y de la scène, L yy, et une direction de magnétisation généralement perpendiculaire à la direction Y de la scène, les directions de magnétisation de la pluralité de premiers segments de magnétisation présentant une première période spatiale magnétique λχ sur une largeur dans la direction X de la scène, Wyx, du premier ensemble d'aimants ; et un dispositif de commande connecté de manière à recevoir des informations sur la base d'une sortie de chacun des capteurs et configuré pour utiliser ces informations pour déterminer une position dans la direction X du stator de la scène mobile.

EP3014219B1


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