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Europäisches Patentamt

Messvorrichtung und Verfahren zur Messung der Dicke einer flächigen Probe

Patentnummer:DE102015118069B4
IPC Hauptklasse:G01B001106
Anmelder:Precitec Optronik GmbH (0)
63263, Neu-Isenburg, DE
Erfinder:
Anmeldung:22.10.15
Offenlegung:22.10.15
Patenterteilung:31.08.17

Abstract / Hauptanspruch
Messvorrichtung zur Messung einer Dicke einer flächigen Probe (1) mit einer ein fluides transparentes optisches Medium (14) aufweisenden optischen Messstrecke (5) zwischen einem Messkopf (6) und einem Reflektor (7), wobei der Messkopf (6) ein Fenster (8) mit einer Außenfläche (30) aufweist und zum Aussenden und Empfangen eines Lichtes von einer breitbandigen kohärenten Lichtquelle (17) in einem Spektralbereich, in dem die Probe wenigstens teilweise transparent ist, ausgebildet ist, und wobei wenigstens ein Teil des von dem Messkopf (6) ausgesandten und von dem Reflektor (7) bzw. von Oberflächen (15, 16) der Probe (1) zurückreflektierten Lichtes vom Messkopf (6) erfassbar ist, so dass ein Reflektionsspektrum des vom Messkopf (6) erfassten zurückreflektierten Lichtes ermittelbar ist, und wobei eine Auswerteeinheit (24) zum Ermitteln einer Dicke der Probe (1) mittels Analysierens von Interferenzen in einem breitbandigen Spektralbereich zwischen von der Außenfläche (30) des Fensters (8) und von dem Reflektor (7) bzw. von den Oberflächen (15, 16) der Probe (1) reflektierten Teilwellen des Lichtes vorgesehen ist, wobei die Messvorrichtung derart ausgebildet ist, dass Messungen in einem ersten Messzustand und in einem zweiten Messzustand durchführbar sind, wobei in dem ersten Messzustand eine optische Schichtdicke der Messstrecke (5) mit dem optischen Medium (14) ohne Probe (1) messbar ist und in dem zweiten Messzustand eine optische Schichtdicke des optischen Mediums (14) zwischen der Probe (1) und dem Messkopf (6) sowie eine optische Schichtdicke des Mediums (14) zwischen der Probe (1) und dem Reflektor (7) messbar sind, und wobei ein zweiter Reflektor (7´, 7´´) zur Bestimmung des Brechungsindexes des optischen Mediums (14) vorgesehen ist, und wobei sich der Messkopf (6) und der zweite Reflektor (7´, 7´´) derart begegnen können, dass wenigstens ein Teil eines von dem Messkopf (6) ausgesandten und von dem zweiten Reflektor (7´, 7´´) zurückreflektierten Lichtes vom Messkopf (6) erfassbar ist.

DE102015118069B4


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