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Europäisches Patentamt

Interferometrisches Verfahren für ellipsometrische, reflektometrische und streulichtanalytische Messungen, einschließlich der Charakterisierung von Dünnfilmstrukturen

Patentnummer:DE10393244B4
IPC Hauptklasse:G01B001106
Anmelder:Zygo Corp. (0)
Middlefield, Conn., US
Erfinder:
Anmeldung:09.09.03
Offenlegung:09.09.02
Patenterteilung:21.09.17

Abstract / Hauptanspruch
Verfahren, das Folgendes umfasst:
Abbilden von Testlicht, das von einem Testobjekt über eine Reihe von Winkeln ausgeht, dergestalt, dass es mit Referenzlicht interferiert, auf einem Detektor, wobei das Test- und das Referenzlicht von einer gemeinsamen Quelle stammen;
für jeden der Winkel gleichzeitiges Variieren der optischen Weglängendifferenz von der Quelle zum Detektor zwischen interferierenden Anteilen des Test- und des Referenzlichts mit einer Rate, die von dem Winkel abhängt, mit dem das Testlicht von dem Testobjekt ausgeht; und
Bestimmen einer Winkelabhängigkeit einer optischen Eigenschaft des Testobjekts anhand der Interferenz zwischen dem Test- und dem Referenzlicht, während die optische Weglängendifferenz für jeden der Winkel variiert wird.

A method including: imaging test light emerging from a test object over a range of angles to interfere with reference light on a detector, wherein the test and reference light are derived from a common source; for each of the angles, simultaneously varying an optical path length difference from the source to the detector between interfering portions of the test and reference light at a rate that depends on the angle at which the test light emerges from the test object; and determining an angle-dependence of an optical property of the test object based on the interference between the test and reference light as the optical path length difference is varied for each of the angles.

L'invention concerne un procédé consistant à imager une lumière d'essai émergeant d'un objet d'essai dans une fourchette d'angles de manière à interférer avec la lumière de référence sur un détecteur, les lumières d'essai et de référence étant dérivées d'une source commune. Puis, ledit procédé consiste à faire varier simultanément, pour chacun des angles, une différence des longueurs de voies optiques de la source au détecteur entre des parties d'interférence des lumières d'essai et de référence à un débit qui dépend de l'angle auquel la lumière d'essai émerge de l'objet d'essai, et à déterminer une dépendance d'angles d'une propriété optique de l'objet d'essai en fonction de l'interférence entre les lumières d'essai et de référence, à mesure que la différence de longueur de voie optique varie pour chacun des angles.

DE10393244B4


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