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Europäisches Patentamt

SURFACE MEASUREMENT INSTRUMENT AND CALIBRATION THEREOF | OBERFLÄCHENMESSINSTRUMENT UND SEINE KALIBRIERUNG | INSTRUMENT DE MESURE DE SURFACE ET ÉTALONNAGE DE CELUI-CI

Patentnummer:EP2542853B1
IPC Hauptklasse:G01B0005252
Anmelder:
Erfinder:
Anmeldung:01.03.11
Offenlegung:02.03.10
Patenterteilung:20.09.17

Abstract / Hauptanspruch
A method of calibrating a surface measurement instrument comprises: rotating a work piece having an undulating surface on a turntable of a metrological apparatus; measuring the surface of the work piece at a plurality of rotational positions; analysing the results of the measurement to determine parameters describing an error causing characteristic of the metrological apparatus; and using the determined parameters to correct measurement data for the error causing characteristic of the metrological apparatus.

L'invention concerne un procédé d'étalonnage d'un instrument de mesure de surface comportant les étapes consistant à : faire tourner une pièce ayant une surface ondulée sur une plaque tournante d'un appareil métrologique ; mesurer la surface de la pièce sur une pluralité de positions de rotation ; analyser les résultats de la mesure pour déterminer des paramètres décrivant une caractéristique de cause d'erreur de l'appareil métrologique ; et utiliser les paramètres déterminés pour corriger les données de mesure de la caractéristique de cause d'erreur de l'appareil métrologique.

EP2542853B1


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