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Anmelder = SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
US9835956B2
05.12.17 (232)
Apparatus and method for overlay measurement
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING INTERNATIONAL (SHANGHAI) CORPORATION
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