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Patentethik
Überwachung
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Kurios
Unverständlich

Anmelder = TSINGHUA UNIVERSITY, Beijing


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
US9995569B2
12.06.18 (148)
Six-degree-of-freedom displacement measurement method for exposure region on silicon wafer stage
TSINGHUA UNIVERSITY, Beijing
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