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Anmelder = ZYGO CORPORATION


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
US9891078B2
13.02.18 (29)
Interferometric encoders using spectral analysis
ZYGO CORPORATION
EP3006902B1
11.04.18 (88)
LITHOGRAPHY METHOD AND LITHOGRAPHY SYSTEM | LITHOGRAFIEVERFAHREN UND LITHOGRAFIESYSTEM | SYSTÈME ET PROCÉDÉ DE LITHOGRAPHIE
ZYGO CORPORATION
EP3092459B1
02.05.18 (110)
MEASURING TOPOGRAPHY OF ASPHERIC AND OTHER NON-FLAT SURFACES | MESSUNG DER TOPOGRAFIE VON ASPHÄRISCHEN UND ANDEREN NICHT-EBENEN FLÄCHEN | MESURE DE LA TOPOGRAPHIE DE SURFACES ASPHÉRIQUES ET AUTRES SURFACES NON PLATES
ZYGO CORPORATION
US10066974B2
04.09.18 (232)
Interferometric encoder systems having at least partially overlapping diffracted beams
ZYGO CORPORATION
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