Anmelder = BEIJING U-PRECISION TECH CO. LTD.

Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift Erteilung (Frist)		Anmelder Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
	US9995569B2 12.06.18 (19)	Six-degree-of-freedom displacement measurement method for exposure region on silicon wafer stage BEIJING U-PRECISION TECH CO. LTD.