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Anmelder = BEIJING U-PRECISION TECH CO. LTD.


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
US9995569B2
12.06.18 (238)
Six-degree-of-freedom displacement measurement method for exposure region on silicon wafer stage
BEIJING U-PRECISION TECH CO. LTD.
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