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Anmelder = Smaltec International LLC, Lisle


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
EP2704868B1
18.04.18 (60)
MICRO-ELECTRICAL DISCHARGED BASED METROLOGY SYSTEMS AND CORRESPONDING OPERATING METHOD | MIKROELEKTRONISCHE METROLOGIESYSTEME AUF ENTLADUNGSBASIS UND ENTSPRECHENDES BETRIEBSVERFAHREN | SYSTÈMES DE MÉTROLOGIE MICRO-ÉLECTRIQUE À BASE DE DÉCHARGE UND PROCÉDÉ DE FONCTIONNEMENT CORRESPONDANT
Smaltec International LLC, Lisle
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