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Anmelder = Varian Semiconductor Equipment Associates Inc., Gloucester


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
US9933314B2
03.04.18 (105)
Semiconductor workpiece temperature measurement system
Varian Semiconductor Equipment Associates Inc., Gloucester
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