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Anmelder = KLA—Tencor Corporation


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
US10101676B2
16.10.18 (145)
Spectroscopic beam profile overlay metrology
KLA—Tencor Corporation
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