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Anmelder = NIKON CORPORATION


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
EP2633268B1
26.09.18 (100)
PROFILE MEASURING APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING A STRUCTURE. | PROFILMESSUNGSVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER STRUKTUR | APPAREIL DE MESURE DE PROFIL ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE STRUCTURE
NIKON CORPORATION
US10107654B2
23.10.18 (127)
Rotary probe head
NIKON CORPORATION
US10132656B2
20.11.18 (155)
Measurement method and encoder device, and exposure method and device
NIKON CORPORATION
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