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Anmelder = The Institute of Optics and Electronics The Chinese Academy of Sciences, Chengdu


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
US9846373B2
19.12.17 (246)
High accuracy measurement system for focusing and leveling
The Institute of Optics and Electronics The Chinese Academy of Sciences, Chengdu
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