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Anmelder = TOSHIBA MEMORY CORPORATION


Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift
Erteilung (Frist)
Anmelder
Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
US9784573B2
10.10.17 (79)
Positional deviation measuring device, non-transitory computer-readable recording medium containing a positional deviation measuring program, and method of manufacturing semiconductor device
TOSHIBA MEMORY CORPORATION
US9910363B2
06.03.18 (228)
Measurement apparatus, exposure apparatus, measurement method, and recording medium
TOSHIBA MEMORY CORPORATION
Neuer Eintrag!
US9929103B2
27.03.18 (249)
Misalignment checking device and manufacturing method of semiconductor device
TOSHIBA MEMORY CORPORATION
Neuer Eintrag!