Anmelder = Marx David S., Newbury Park

Erteilte Patente in der Einspruchsfrist

(DE B,C: 3 Monate nach Erteilung; EP B,C: 9 Monate nach Erteilung)

Patentschrift Erteilung (Frist)		Anmelder Titel der Erfindung (Arbeitstitel)
	US9714825B2 25.07.17 (1)	Wafer shape thickness and trench measurement Marx David S., Newbury Park